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能带弯曲(Band bending)

最近有一个实验的合作涉及到能带弯曲,在知乎以及Physics of Semiconductor Devices这本教材上学习了一下记一下笔记。

半导体能带在半导体和金属接触时,表面处发生弯曲,这种现象称为“能带弯曲”。

其中有两种接触方式:肖特基接触欧姆接触

对于我们所研究的 $\rm Au/TiO_2$ 体系,金属和n型半导体的接触,就属于肖特基接触
金属功函数大于n型半导体,即($\phi_m > \phi_s$)

功函数定义为费米能级与真空能级之间的能量差,简单理解为“让电子逃离材料表面所需要的能量”,这里金属的功函数比半导体的大,那么电子会从半导体流向金属,直到两者达到平衡。

当金属和n型半导体接触时,半导体中的传导电子比金属中的传导电子具有更高的能量,因此接触界面附近的电子向金属移动。金属费米能级基本不变(载流子浓度高),半导体费米能级下降,直到两者之间的能量差消失。


通过接触实现电子转移,半导体带正电,金属带负电,在界面处形成耗尽层,产生从半导体指向金属的电场。

半导体的载流子密度远低于金属,电子运动产生的耗尽层向半导体侧扩展深度大。

半导体中产生的耗尽层和电场充当能量势垒,因此接触面处的半导体能带向上弯曲。

以这种方式产生的电位差称为“内建电压”。它在金属和半导体之间形成势垒,使得电流难以从金属流向半导体。这称为“肖特基接触”。

为什么会能带弯曲

能带代表着电子能量的变化,顺着电势降低的方向也就是电场方向,其能带向上弯曲,电子运动困难,因而其对应的能量需要上升(吸收能量才能跃迁到更高处,这才对应电子运动困难的情况)

至于老师问的为什么这两种接触都是n型半导体或者p型半导体而不是本征半导体:
首先,本征半导体中的载流子浓度跟n型半导体载流子浓度不在一个量级上,很难产生上述所说的,半导体中的电子流入金属这一过程,自然不会产生电势降,也就不会有能带弯折,本征半导体跟金属的接触就相当于金属绝缘体接触。 其次,为什么是n型半导体,n型半导体费米能级靠近导带,majority carriers是电子;p型靠近价带,取决于掺杂浓度,n型高掺杂时费米能级甚至会超过导带。而对于本征半导体,也就是纯净无掺杂的,理论上T=0K的时候费米能级就在价带和导带的中间。

为了避免大体系的DFT计算,我们打算用一个简单的模型来刻画这个band-bending。

一维耗尽近似

考虑最简单的一维耗尽近似,假设耗尽区中自由电子全部进入金属中,只剩下正电荷,正电荷密度是$N_D$,而半导体的体区仍然是施主完全电离,$n\approx N_D$,正电荷密度也是$N_D$,是为中性区。
取界面在 $z=0$,$z>0$ 指向 TiO₂ 体内。
耗尽区(depletion region) $0\le z\le W$:几乎没有自由载流子,只剩下半导体边的正电荷
准中性体区(bulk region) $z>W$:净电荷与电场为0,电势为常数(0)。(边界条件)
$\varepsilon_s=\varepsilon_r\varepsilon_0$(半导体介电常数)、$N_D$(施主浓度)
$\Delta E(z)=-q,\psi(z)$。

耗尽区的电荷密度:
$$
\rho(z)=
\begin{cases}
+qN_D,& 0\le z\le W,\
0,& z>W~.
\end{cases}
$$

耗尽区一维泊松方程:
$$
\frac{d^2\psi}{dz^2}=-\frac{\rho}{\varepsilon_s}=-\frac{qN_D}{\varepsilon_s}
$$
积分一次得到
$$
\psi^{\prime}(z)=-\frac{d\psi}{dz} = -\frac{q N_D}{\varepsilon_s}z+C_1
$$

带入边界条件 $E(W)=-\psi^{\prime}(W)=0$,
$$
C_1 = \frac{qN_D}{\varepsilon}W
$$
得电场:
$$
E(z)=-\frac{d\psi}{dz}=\frac{qN_D}{\varepsilon_s}(z-W).
$$

再积分得到电势:
$$
\psi(z)=-\frac{qN_D}{2\varepsilon_s}(z^2-2Wz)+C_2
$$
$$
\psi(z)=-\frac{qN_D}{2\varepsilon_s}(z-W)^2+C_2
$$

边界条件 $\psi(W)=0$ 得$C_2=0$电势:
$$
\psi(z)= -\frac{qN_D}{2\varepsilon_s}(z-W)^2,\quad 0\le z\le W.
$$

界面到体区的电势降:
$$
V_{\rm bi}=\psi(W)-\psi(0)=\frac{qN_DW^2}{2\varepsilon_s}.
$$

带边上移量(eV到V转换):
$$
\Delta E(z)=-q\psi(z)=
V_{\rm bi}\Big(1-\frac{z}{W}\Big)^2
$$

于是耗尽宽度:
$$
W=\sqrt{\frac{2\varepsilon_s V_{\rm bi}}{q N_D}}
$$

Schottky–Mott势垒:
$$
\Phi_{Bn}=\Phi_M-\chi
$$
其中$\Phi_M$就是金属的功函数(Au),$\chi$:半导体电子亲和势(electron affinity)($\rm TiO_2$),定义为导带底到真空能级的能量。

接触后半导体边体区,也就是能带平了之后的区域有关系:
$$
E_C-E_F \approx k_BT \ln\frac{N_C}{N_D}
$$
其中$N_C$:导带有效态密度,$N_D$:施主浓度。
这个公式来自于教科书Physics of Semiconductor Devices

首先对于费米狄拉克分布:
$$
f(E)= \frac{1}{1+e^{\frac{E-E_F}{k_BT}}}
$$
如果$E_c-E_F\geq3k_BT$,我们有非简并近似,也就是玻尔兹曼近似
$$
f(E)\approx e^{-\frac{E-E_F}{k_BT}}
$$
电子浓度:
$$
n = \int_{E_c}^{\infty}g_c(E)f(E)dE
$$
其中
$$
g_c(E)=\frac{1}{2\pi^2}\left(\frac{2m}{\hbar^2}\right)^{\frac{3}{2}} \sqrt{E-E_c}
$$
带入上式积分,并用玻尔兹曼近似,令 $x=\frac{E-E_c}{k_BT}$可得:
$$
n = e^{-(E_c-E_F)/k_BT}\frac{1}{2\pi^2}\left(\frac{2m}{\hbar^2}\right)^{\frac{3}{2}}(k_BT)^{\frac{3}{2}}\int_0^\infty \sqrt x e^{-x}dx
$$
其中积分
$$
\int_0^\infty \sqrt x e^{-x}dx = \frac{\sqrt\pi}{2}
$$
得到:
$$
n = N_c e^{-\frac{E_c-E_F}{k_BT}}
$$
$$
N_c=2\left(\frac{2\pi mk_BT}{h^2}\right)^{\frac{3}{2}}
$$
在半导体的中性区$n\approx N_D$,对上面 $n$ 取对数即可得
$$
E_C-E_F \approx k_BT \ln\frac{N_C}{N_D}
$$
如果不用玻尔兹曼近似的话,就得用费米积分
$$
n = N_cF_{1/2}(\eta),F_{1/2}(\eta)=\frac{2}{\pi}\int_0^\infty \frac{\sqrt{x}}{1+e^{x-\eta}}dx
$$
其中 $\eta=\frac{E_F-E_c}{k_BT}$

应用以上近似,我们可得内建电势:
$$
V_{\rm bi}\approx\Phi_{Bn}-\frac{E_C-E_F}{q}
$$

取 $E_F$ 为能量零点:
$$
E_C^{\rm bulk}=E_C-E_F,\qquad E_V^{\rm bulk}=E_C^{\rm bulk}-E_g.
$$
空间分布曲线:

$$
E_C(z)=E_C^{\rm bulk}+V_{\rm bi}\Big(1-\frac{z}{W}\Big)^2
$$

$$
E_V(z)=E_V^{\rm bulk}+V_{\rm bi}\Big(1-\frac{z}{W}\Big)^2
$$

于是就可以得到能带弯曲曲线

参数设置为:
$N_c$:1e21 这个参数只跟具体材料有关,从公式我们能看出只跟有效质量有关,如果温度一定的话。
$N_D$:1e19 这个就是参杂浓度
$\phi_m$:5.10 eV 金属的功函数,金大概在4.8-5.4eV之间,取决于表面的干净程度
$\chi$: 4eV $\rm TiO_2$的亲合能,导带底到真空能级的位置
$E_g$:3.20eV $\rm TiO_2$的band gap
$\varepsilon_r$: 31 $\rm TiO_2$的介电常数
T:设置为300K

Hot carrier

现在我们考虑Au的hot carrier,激光打在Au上,激发等离子体,等离子体衰减,能量传给电子,产生远高于晶格温度的的电子,所以叫”hot carrier”,之前我们做了一个简单的模型来考虑这样的热电子,也就是算出Au的DOS,然后乘上2000K的费米狄拉克分布,理论上2000K对于Au的化学势会有十几个meV的修正,但在这里不重要,如图所示。

上面我们已经分析了正常的平衡态的金属半导体接触,半导体中的电子流入金属中去,产生耗尽区,形成肖特基势垒,进而能带弯折。现在将热电子考虑进去,简单来想,Au的的高能电子会有一部分跨过这个势垒,回到半导体体带,中和一部分耗尽区的正电荷,削减耗尽区的宽度,能带弯折程度减弱,

如何将金属边的图像和半导体边的物理图像拼起来?

Physics of Semiconductor Devices 中提到,热发射(Thermionic-Emission)电流密度:
$$
J_{S\to M} \sim A^{} T_s^{2} \exp\left[-\frac{q(\Phi_{B_n} - V)}{k_B T_s}\right]
$$
这里V是外加偏置电场,A是常数
$$
J_{M\to S} \sim A^{
} T_e^{2} \exp\left(-\frac{q \Phi_{B_n}}{k_B T_e}\right)
$$
净电流就是两者之差,在这里我们标记了Ts是半导体侧的晶格温度,Te是金属热电子温度,在不考虑外加偏置电场的时候,且两者温度一致的时候,显然静电流为0,两者相等。但现在考虑hot carrier,金属一侧的电子温度高于半导体一侧,就产生电流,电子流向半导体,与耗尽区正电荷中和之后动态平衡,然后静电流又为0,这时候我们可以看作产生了一个正向偏置电压,最后平衡的时候两个电流相等。这时可以解出:
$$
V_{hot}= \frac{2 k_B T_s}{q} \ln\frac{T_e}{T_s}+ \Phi_{B_n} \left(1 - \frac{T_s}{T_e}\right)
$$

这一电势相当于修改我们前面的内建电场$V_{bi}$
$$
V_{eff} = V_{bi} - V_{hot}
$$
耗尽区的宽度变为:
$$
W=\sqrt{\frac{2\varepsilon_s (V_{\rm bi}-V_{hot})}{q N_D}}
$$
变窄,如图所示。

OK 记录一下这个博客是如何搭建的,与之前用阿里云——Wordpress 不同,这是托管在github上免费的博客,不用租服务器哈,还挺省钱,凑合用。

1 安装Node.js 和 Git

官网搜索,傻瓜式安装,一路点next
安装好之后打开终端看是否有版本号。

node -v
npm -v
git –version

2 打开Git bash

输入命令

npm install -g hexo-cli
mkdir blog-hexo
cd blog-hexo
hexo init .
npm install

然后敲

hexo server

会出现

Hexo is running at http://localhost:4000/. Press Ctrl+C to stop.

放进浏览器里会看到一个页面,就算成功了。

3 部署Github

新建仓库“你的GitHub用户名.github.io“ 比如我的就是“EdmondQing.github.io”,其他选项都默认。

然后回到git bash 的博客文件夹下

npm install hexo-deployer-git –save

打开_config.yml
修改

deploy:
type: git
repo: https://github.com/EdmondQing/EdmondQing.github.io.git
branch: main

然后浏览器就可以访问https://EdmondQing.github.io

可能报错 “Please tell me who you are”

只需要配置一下:

git config –global user.name “用户名”
git config –global user.email “邮箱”

就OK

4.如何写文章

hexo new “How to build a blog”

然后就会发现生成了一个md文件,并且附有路径,一般在source里面,然后就可以用markdown来敲代码写文章了。

写完之后保存,然后

hexo clean
hexo g -d

Welcome to Hexo! This is your very first post. Check documentation for more info. If you get any problems when using Hexo, you can find the answer in troubleshooting or you can ask me on GitHub.

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